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      寧波材料所三維微納結構制造技術研究取得新進展

      媒體:寧波材料技術與工程研究所  作者:寧波材料技術與工程
      專業號:木工網 2014/5/21 16:51:08

      納米制造技術是實現納米結構、器件、系統生產的基礎,以微納器件制造需求或關鍵技術為牽引,解決微納米制造的設計、裝備、工藝以及應用等關鍵技術問題,是提升納米制造技術的關鍵。

       

      為了便于實現材料和器件在微納尺寸下的合成或組裝,實現其高度集成化和多功能化,中國科學院寧波材料技術與工程研究所許高杰研究團隊利用自行研制的三維微納結構制造系統,成功制備出不受模板限制的三維方向具有一定取向性的曲線型結構,并實現了不同節點間的互聯互通,該技術對于提升大規模集成電路向三維立體方向發展(集成度)有重要意義。

       

      下圖是研究過程中制備的一些微納線陣列,微納線直徑可達到500nm以下,微納線間距可小于500nm。目前研究團隊采用的是單針“直寫”方式,通過程序控制,制備出預先設計好的各種直線、折線或曲線陣列,也可以采用類似3D打印技術的方式,制備出簡單的3D微納器件。目前三維微納結構制備系統和制備技術正在進一步優化和完善當中。研究人員希望配合團隊其他成員開展的3D打印材料和技術的研究,完成從小尺度的微納結構器件到大尺寸3D產品開發的系統性工作。目前,研究人員正在通過這種微納結構制造系統,開發微納尺度3D打印噴頭(噴嘴)的研制工作。該項研究工作的完成,將能夠使3D打印技術的精度進一步提高。同時,研究團隊正積極加強與國內外同行的交流合作,希望通過協同努力,加快微納器件研究和應用推廣的進程。

       

      微觀尺寸下微納線的折線陣列結構和微納線之間的相互接觸的結構的SEM圖

       

      俯視下的微納線生長的不同結構陣列圖案(插圖為側視下的三維SEM圖)

       

      圖為微納線組成的中科院寧波工業技術研究院(CNITECH)英文縮寫的陣列圖樣。下圖為垂直俯視的SEM照片,每個亮點都是一根垂直的微納線。

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